马弗炉原理：高温炉加热室用耐火材料及碳化硅、氧化镁、氧化铝等制成，电热丝为镍铬合金丝。马弗炉外部由铁板制成，涂以皱纹漆，炉门上有一小孔，嵌以透明的云母片，可以窥视炉内情况。使用时需配备自动定温控制器和热电偶，自动定温控制器是应用一个电子管高频振荡电路，其中的储能线圈由于耦合储电器的适当配合，使其固定于某一震荡频率，储能线圈附有定温指标，并有大型热电偶温度计，明确指示高温炉的温度，其指针上有一金属小旗，当炉温升到所需的温度，温度指标的小旗与储能线圈相耦合时，振荡电流随机停止，电子管板极电流因之变化，令其操纵一个极灵敏的继电器，再以此控制一继电器来切断电热丝的电流，使温度不再上升，当温度下降时，指针的小旗与储能线圈失去耦合，电子管又恢复振荡，被控制的继电器亦同时恢复通过高温炉的电流，炉温又可渐升，如此因电流的断续，已达到自动保持一定温度的目的。
炉内一般是采用分断用户开关
洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。